环境与气象仪器

洁净室仪器

HVAC及工业仪表

5850EMH系列高温质量流量控制计

萨索洛v切沃 www.burwiu.com.cn 型号 5850EMH / 5851EMH高温应用中高纯表现,Brooks Instrument 的 5850EMH 系列高温金属密封质量流量控制器结合金属密封泄漏完整性,为高温气体测量和控制,具有多种选择,允许最大的应用灵活性。5850EMH 系列的核心是稳定的传感器,其提供与流速线性相关的电气输出信号。该信号用于指示、记录和/或控制目的而无需自动归零电路。

特点

  • 高泄漏完整性(小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He)
  • 宽流速范围(0.003 – 100 slpm)
  • 高纯度 VAR 316L 不锈钢
  • 无磨粒
  • 氦泄漏检查端口
  • 常闭阀(可选??В?/li>
  • 电致动阀复位
  • 低命令流量断流
  • TTL 兼容”关阀”功能

优势

  • 稳定、可靠的产品平台
  • 高流量,达 100 lpm(N2 当量)
  • 全金属流路提高气体纯度及减少泄漏
  • 仅使用模拟输入/输出容易安装和维修

应用

  • 光纤制造——MCVD,OVD,AVD
  • 水汽流量控制

型号 5850EMH 5851EMH
流量范围-满量程容量 3 sccm –?30 slm (N2?equivalent) 10?–?100 slm (N2?equivalent)
精度 ±1%?FS ±1%?FS
重复性 < ±0.25% of SP < ±0.25% SP
响应时间-常闭 3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91) 3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)
模拟通讯 0-5 Vdc 0-5 Vdc

友情链接: 意大利德尔特(Deltaohm)   萨索洛v切沃   美国ONSET公司HOBO记录仪|气象站

©版权所有 北京北方大河仪器仪表有限公司 京ICP备09061995号-5